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3d光学轮廓仪品牌

简要描述:CHOTEST新普京澳门娱乐场在线登陆网址3d光学轮廓仪品牌SuperViewW1采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

  • 更新时间:2024-05-13
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:595

详细介绍

品牌CHOTEST/新普京澳门娱乐场在线登陆网址价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域化工,能源,电子,电气,综合

CHOTEST新普京澳门娱乐场在线登陆网址3d光学轮廓仪品牌SuperViewW1采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。是一款用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的光学仪器。

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产品功能

设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。

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性能参数

型号

W1

光源白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×、0.75×、1×

标准视场0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)


XY位移平台

尺寸
320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
形貌重复性0.1nm
粗糙度RMS重复性0.005nm
台阶测量

准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ)

可测样品反射率0.05%~100%
主机尺寸700×606×920㎜


性能特色

1、高精度、高重复性

采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;

2、环境噪声检测功能

具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块,能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。

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新普京澳门娱乐场在线登陆网址3d光学轮廓仪品牌能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。

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