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共聚焦显微镜

简要描述:新普京澳门娱乐场在线登陆网址VT6000系列共聚焦显微镜擅长微纳级粗糙轮廓的检测,所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

  • 更新时间:2024-04-17
  • 产品型号:VT6100
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:1107

详细介绍

品牌CHOTEST/新普京澳门娱乐场在线登陆网址仪器种类超高速激光共聚焦显微成像系统
价格区间面议产地类别国产
应用领域能源,交通,航天,汽车,综合

新普京澳门娱乐场在线登陆网址VT6000系列共聚焦显微镜擅长微纳级粗糙轮廓的检测,所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。


产品功能

1) 设备提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能;

2)一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。

3)提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

5) 提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。



技术指标

型号:VT6100

行程范围:100*100*100mm

视场范围:120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度测量重复性(1σ):12nm

高度测量精度:± (0.2+L/100) μm

高度测量分辨率:0.5nm


宽度测量重复性(1σ):40nm

宽度测量精度:± 2%

宽度测量分辨率:1nm


外形尺寸:520×380×600mm

仪器重量:50kg


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高精度、高重复性

1)以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的搞测量精度;

2)仪器的隔震设计能够消减底面振动噪声,在大部分的环境中稳定可靠,具有良好的测量重复性。


共聚焦显微镜可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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