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白光干涉仪和共聚焦显微镜的区别

更新时间:2023-02-22      点击次数:712

对于现代愈发复杂的工艺检测,诸如半导体、电子封装及光学加工等产业中,由于表面微观轮廓结构的准确性决定着产品的功能和效能,所以不管是抛光表面还是粗糙表面的工件(诸如半导体硅片及器件、薄膜厚度、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究),都需要测量断差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、体积、线宽等。


同为微纳米级表面光学分析仪器,白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点,都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能,适用范围广,可测多种类型样品的表面微细结构。但白光干涉仪与共聚焦显微镜还是有着不同之处。


1、测量原理

SuperViewW1白光干涉仪是以白光干涉技术为原理,实现器件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器;


VT6000激光共聚焦显微镜是以共聚焦技术为原理,实现器件微纳米级表面形貌测量的光学检测仪。

共焦显微镜光路示意图


2、应用

白光干涉仪多用于测量大范围光滑的样品,尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的准确;(SuperViewW1白光干涉仪测量行程有140*100*100㎜,对于测量物体整个区域表面情况,还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈,在样品表面抽取多个区域测量,就可以快速实现大区域、高精度的测量,从而对样品进行评估分析。)

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超光滑透镜测量

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自动拼接功能

大尺寸样品拼接测量


而VT6000激光共聚焦显微镜更容易测陡峭边缘,擅长微纳级粗糙轮廓的检测,虽在检测分辨率上略逊,但成像图色彩斑斓,便于观察。

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激光共聚焦显微镜原理及应用


白光干涉仪3D形貌测量之美

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